Written by Hiroshi Tanaka
今回の注目ベンチャーの紹介はLQDXです。
LQDXは、半導体パッケージの製造工程である無電解銅メッキの前処理に使用されるパラジウム塗布インキおよびプロセス技術を開発します。
・高集積半導体パッケージの製造工程の無電解銅メッキの前処理用インキとプロセスとして有効
・同社のメタルインキ(LMIx®)を使用することでWetプロセスでパラジウム塗膜を得る
・同社インキの特長: 薄膜・高密度・複雑回路への追従性・基材への密着性が高い
・高集積パッケージ回路(5/5um)に対応
・インターポーザ(チップレット)用のサブミクロンパターンへもWetプロセスで実現することを目指す
・対象マーケット: AI、AR/VR、データセンタ、自動運転車
・米国特許登録18件 (出願:55件)
・半導体パッケージ工程に向けたメタルインキの製造およびライセンス販売
・同社材料を用いた試作品の製造受託
・半導体パッケージの製造工程において無電解銅メッキ工程は前処理が必要。
・前処理の膜が厚く、不均一である場合は、製造工程内の不具合につながる。
・高精細回路の場合は特に前処理膜の薄膜化および均一化が求められる。同社インキは同要求を満足する。
・チップレット用RDLの製造プロセスにおける前処理には、WetプロセスではくPVDプロセスを用いるが、PVDはWetプロセスに比べて装置が大型化する。
同社のメタルインキを使うことで、従来PVDをWetプロセスで実現可能。