Written by Hiroshi Tanaka
•半導体チップやMEMSの高速プロトタイピングを実現するためのマイクロファブリケーション プラットフォームの開発
・半導体チップやMEMSなどのプロトタイピング製作を短納期で実現。
・テーブルサイズのプロセス装置を導入してアジャイルなプロセスを構築。
・2”のウエハーを採用することで低コスト化。
・機器をモジュール化することで顧客の特別仕様に対応可能。
・量産段階で予定される大手ファンドリーとパートナーシップを結ぶことで、試作から量産へスムーズに移行することを目指す。
・フォトリソ、CVD、スパッタ、エッチングなどのプロセス装置を所有。
•高速プロトタイピングの需要ある企業よりプロトタイプ製作を受託
・バイオ、医療、IoT、航空の分野において低コストかつ短納期のマイクロ製作が求められる。
・同社は2”ウエハーのマイクロ装置を導入することでフレキシブルかつ微細なパターンを試作することが可能。
・同社のフォトリソ・エッチングプロセスは7um/min、高アスペクトパターンを形成する。
・多種の金属(Au, Pt, Ti, Ta, W)とシリコンを加工可能。
・イーロン・マスクが構想する「脳に埋め込む人工知能」に関連するデバイスの製作にも関与
•顧客:NorthropGrumman, Applied Materials
•競合:Minimal Fab, atomic machines, Atlant Nanosystems